1.本实用新式触及多自由度运动渠道技能范畴。更具体地说，本实用新式触及一种六自由度微动渠道。

  2.六自由度微动渠道大多数都用在高精度调整，经过六个自由度的改动，然后将渠道上的设备或其它物品准确精细地地移动至适宜的方位。

  3.现有六自由度渠道前言载物渠道，设于渠道下方的6个弹性组件，每个弹性组件的输出端与载物渠道衔接。当需求调理渠道时，经过操作弹性组件操控渠道来完结渠道的运动。

  4.因为现有的六自由度微动渠道需求准确和谐六个弹性组件的运动来完结渠道的一个运动概括，和谐进程杂乱，准确度低。

  5.本实用新式的一个意图是处理至少以上问题，并供给至少后边将阐明的长处。

  6.本实用新式还有一个意图是供给一种六自由度微动渠道，将平升摇摆组件、平移组件和旋转组件分隔设置，简化了和谐进程，微动精度高。

  7.为了完结根据本实用新式的这些意图和其它长处，供给了一种六自由度微动渠道，前言：

  8.微动板，其水平设置，所述微动板前言平板，所述平板的外侧由内到外顺次套设有内框体、中框体和外框体，相邻框体之间留有空地且经过挠性件衔接，所述内框体与所述平板衔接；

  10.平升摇摆组件，其前言三个榜首弹性件，所述三个榜首弹性件竖直设于所述微动板的下方并呈三角形排布，每个榜首弹性件的输出端与所述外框体的底部抵接，带动所述微动板在竖直方向移动；

  11.平升摇摆组件，其前言三个榜首弹性件，所述三个榜首弹性件竖直设置并呈三角形排布，每个榜首弹性件的输出端与所述外框体的底部抵接，带动所述外框体然后带动所述平板在竖直方向上下移动或摇摆；

  12.平移组件，其前言两个第二弹性件，其间一个第二弹性件的输出端与所述中框体衔接，以驱动所述中框体在榜首方向上移动，另一个第二弹性件的输出端与所述内框体衔接，以驱动所述内框体在第二方向上移动，所述榜首方向和所述第二方向彼此笔直；

  13.旋转组件，其固设于所述外框体上，所述旋转组件的输出端与所述负载板衔接，以驱动所述负载板水平旋转。

  15.设备板，其与所述三个榜首弹性件的顶部固接，所述设备板上设有供所述榜首伸

  16.承载框，其水平设置，所述承载框设于所述微动板和所述平升摇摆组件之间，所述承载框的底部与所述三个榜首弹性件的输出端抵接，顶部与所述外框体固接；

  17.支撑板，其水平套设于所述承载框的内部，所述支撑板的底部与所述设备板固接，所述支撑板与所述承载框不触摸；

  18.三个弹性板，每个弹性板的一端与所述支撑板的顶部固接，另一端与所述承载框固接，所述三个弹性板与所述三个榜首弹性件一一对应，每个弹性板的另一端坐落对应榜首弹性件的输出端的上方。

  21.支撑块，其设于所述榜首压电电机的上方，所述支撑块的底部与所述榜首压电电机的输出端固接，另一端固接有球体，所述球体的顶部与所述承载框的底部抵接；

  22.支撑架，其为内部中空，且顶部和底部均敞口的长方体，所述支撑架套设在所述榜首压电电机的外侧，所述支撑架与所述榜首压电电机固接，所述支撑架的内侧壁竖直设有滑轨，所述支撑块的外侧固设有滑块，所述滑块与所述滑轨滑动卡接。

  23.优选的是，所述设备板的底部与所述支撑架的顶部固接，所述穿孔的直径均大于所述支撑块的长度，所述支撑块穿过对应穿孔，且坐落所述支撑块顶部的球体的顶部与所述承载框的底部抵接。

  24.优选的是，还前言弹性件，其设于所述设备板和所述承载框之间，所述弹性件前言竖直设置的至少三个绷簧，所述至少三个绷簧沿所述承载框的周向距离设置，每个绷簧的底部与所述设备板固接，顶部与所述承载框固接。

  25.优选的是，所述平板上固设有保护罩，所述负载板与所述保护罩的顶部滚动衔接。

  26.优选的是，所述负载板为圆形板，所述圆形板的边际设有衔接板，所述衔接板的一端与所述圆形板固接，另一端与所述旋转组件的输出端衔接。

  30.圆球，其固设于所述第三压电电机的输出端上，所述圆球远离所述第三压电电机的一侧与所述衔接板抵接；

  31.拉簧，其水平设置，其一端与所述第三压电电机固接，另一端与所述衔接板固接，所述拉簧处于拉伸状况。

  32.优选的，所述其间一个第二弹性件固设于所述外框体的顶部，所述另一个第二弹性件固设于所述中框体的顶部。

  34.经过调理三个榜首弹性件可带动微动板上下移动，因为微动板与负载板滚动衔接，所以微动板可以带动负载板上下移动，一起因为每个榜首弹性件的输出端与外框体的底部抵接，当三个榜首弹性件的升高高度或许下降高度有所差异，则微动板可上下摇摆，微动板带动负载板上下摇摆，平移组件可以操控平板沿榜首方向和第二方向平移，则平板带动负载板在榜首方向和第二方向平移，旋转组件可以带动负载板微动旋转，所以经过平升

  摇摆组件、平移组件和旋转组件合作可以带动负载板上下移动、上下摇摆、水平移动以及微动旋转，因为平升摇摆组件、平移组件和旋转组件分隔设置，所以本新式简化了和谐进程，微动精度高。

  35.本实用新式的其它长处、方针和特征将部分经过下面的阐明表现，部分还将经过对本实用新式的研讨和实践而为本范畴的技能人员所了解。

  36.图1为本实用新式的其间一种技能计划所述六自由度微动渠道的结构示意图；

  37.图2为本实用新式的其间一种技能计划所述六自由度微动渠道的侧视图；

  38.图3为本实用新式的其间一种技能计划所述承载框和所述衔接板的装配图；

  43.附图符号：微动板1、平板2、内框体3、中框体4、外框体5、挠性件6、负载板7、榜首弹性件8、第二弹性件9、旋转组件10、设备板11、承载框12、支撑板13、弹性板14、榜首压电电机15、支撑块16、球体17、支撑架18、弹性件19、保护罩20、衔接板21、圆球22、拉簧23。

  44.下面结合附图对本实用新式做进一步的具体阐明，以令本范畴技能人员参照阐明书文字可以据以施行。

  45.应当了解，本文所运用的比如“具有”、“前言”以及“前言”术语并不扫除一个或多个其它元件或其组合的存在或增加。

  47.微动板1，其水平设置，所述微动板1前言平板2，所述平板2的外侧由内到外顺次套设有内框体3、中框体4和外框体5，相邻框体之间留有空地且经过挠性件6衔接，所述内框体3与所述平板2衔接；

  48.负载板7，其水平放置在所述平板2上，所述负载板7与所述平板2滚动衔接；

  49.平升摇摆组件，其前言三个榜首弹性件8，所述三个榜首弹性件8竖直设置并呈三角形排布，每个榜首弹性件8的输出端与所述外框体5的底部抵接，带动所述外框体5然后带动所述平板2在竖直方向上下移动或摇摆；

  50.平移组件，其前言两个第二弹性件9，其间一个第二弹性件9的输出端与所述中框体4衔接，以驱动所述中框体4在榜首方向上移动，另一个第二弹性件9的输出端与所述内框体3衔接，以驱动所述内框体3在第二方向上移动，所述榜首方向和所述第二方向彼此笔直；

  51.旋转组件10，其固设于所述外框体5上，所述旋转组件10的输出端与所述负载板7衔接，以驱动所述负载板7水平旋转。

  52.在上述技能计划中，六自由度微动渠道前言微动板1、负载板7、平升摇摆组件、平移组件和旋转组件10，微动板1前言平板2，平板2的外侧由内到外顺次套设有内框体3、中框体4和外框体5，本新式的三个框体可所以直接套设在平板2外的，也可以将微动板1当作一

  整块板体，经过机器进行切开，在微动板1上由内到外切开了三个矩形孔，然后形成了平板2、内框体3、中框体4和外框体5，挠性件6为挠性衔接筋，框体之间、平板2与内框体3之间均是经过挠性衔接筋衔接，相邻的框体之间留有空地其意图是便利框体做微移动；负载板7与平板2滚动衔接，本新式并不约束其衔接件，可所以经过轴环衔接，也可以终究靠轴承衔接；平升摇摆组件，前言三个榜首弹性件8，三个榜首弹性件8设于微动板1的下方，而且呈三角形排布，此排布方法使微动板1安稳，每个榜首弹性件8的输出端与外框体5的底部抵接，意图是经过三个榜首弹性件8的弹性可以带动微动板1上下摇摆，或许上下移动，因为负载板7与微动板1衔接，所述微动板1可以带动负载板7上下摇摆，或许上下移动；平移组件前言两个第二弹性件9，如图所示，其间一个第二弹性件9固设于外框体5的顶部，该第二弹性件9的输出端与中框体4衔接，操作该第二弹性件9，可以使中框体4移动，中框体4带动内框体3移动，内框体3带动平板2移动，然后可以带动负载板7在榜首方向上移动，另一个第二弹性件9固设于中框体4的顶部，第二弹性件9的输出端与内框体3固接，经过操作该第二弹性件9可以带动内框体3移动，内框体3带动平板2移动，然后带动负载板7在第二方向上移动，选用上述方法设置两个第二弹性件9的原因是使两个第二弹性件9互补搅扰，但一起都可以效果于负载板7，使负载板7移动；旋转组件10的意图是带动负载板7在水平方向上微旋转。

  53.进一步地，每个第二弹性件9的输出端固设有固定块，每个第二弹性件9的输出端经过固定块与对应框体固接。

  54.运用的进程中，经过调理三个榜首弹性件8可带动微动板1上下移动，因为微动板1与负载板7滚动衔接，所以微动板1可以带动负载板7上下移动，一起因为每个榜首弹性件8的输出端与外框体5的底部抵接，当三个榜首弹性件8的升高高度或许下降高度有所差异，则微动板1可上下摇摆，微动板1带动负载板7上下摇摆，平移组件可以操控平板2沿榜首方向和第二方向平移，则平板2带动负载板7在榜首方向和第二方向平移，旋转组件10可以带动负载板7微动旋转，所以经过平升摇摆组件、平移组件和旋转组件10合作可以带动负载板7上下移动、上下摇摆、水平移动以及微动旋转，因为平升摇摆组件、平移组件和旋转组件10分隔设置，所以本新式简化了和谐进程，微动精度高。

  56.设备板11，其与所述三个榜首弹性件8的顶部固接，所述设备板11上设有供所述榜首弹性件8的输出端穿过的穿孔；

  57.承载框12，其水平设置，所述承载框12设于所述微动板1和所述平升摇摆组件之间，所述承载框12的底部与所述三个榜首弹性件8的输出端抵接，顶部与所述外框体5固接；

  58.支撑板13，其水平套设于所述承载框12的内部，所述支撑板13的底部与所述设备板11固接，所述支撑板13与所述承载框12不触摸；

  59.三个弹性板14，每个弹性板14的一端与所述支撑板13的顶部固接，另一端与所述承载框12固接，所述三个弹性板14与所述三个榜首弹性件8一一对应，每个弹性板14的另一端坐落对应榜首弹性件8的输出端的上方。

  60.选用这种技能计划，其意图是使承载框12在移动进程中，防止其左右晃动，使其只做上下移动，或许上下摇摆，因为承载框12与外框体5固定，所以带动微动板1只可以做上下移动，或许上下摇摆，防止其晃动。

  61.进一步地，支撑板13的顶部还固设有1mm厚的绷簧钢板，意图是确保承载框12只做

  64.支撑块16，其设于所述榜首压电电机15的上方，所述支撑块16的底部与所述榜首压电电机15的输出端固接，另一端固接有球体17，所述球体17的顶部与所述承载框12的底部抵接；

  65.支撑架18，其为内部中空，且顶部和底部均敞口的长方体，所述支撑架18套设在所述榜首压电电机15的外侧，所述支撑架18与所述榜首压电电机15固接，所述支撑架18的内侧壁竖直设有滑轨，所述支撑块16的外侧固设有滑块，所述滑块与所述滑轨滑动卡接。

  66.选用这种技能计划，使支撑块16与支撑架18滑动卡接，支撑架18起到导向的效果。

  67.进一步的，球体17的上方设有球头支撑，如图所示，球头支撑前言开口向下的凹槽，凹槽的顶部固接有固定板，固定板与承载框12的底部固接，球体17的顶部设于凹槽内，与凹槽抵接。

  68.在另一种技能计划中，所述设备板11的底部与所述支撑架18的顶部固接，所述穿孔的直径均大于所述支撑块16的长度，所述支撑块16穿过对应穿孔，且坐落所述支撑块16顶部的球体17的顶部与所述承载框12的底部抵接，设备板11不阻碍榜首弹性件8操控承载框12移动。

  69.在另一种技能计划中，还前言弹性件19，其设于所述设备板11和所述承载框12之间，所述弹性件19前言竖直设置的至少三个绷簧，所述至少三个绷簧沿所述承载框12的周向距离设置，每个绷簧的底部与所述设备板11固接，顶部与所述承载框12固接，本技能只表明出了三个绷簧，但并不限于三个，可根据状况确认绷簧的数量，设置绷簧的意图是，当球体17与外框体5分隔时，绷簧就会发生拉力将外框体5拉至与球体17触摸。

  70.在另一种技能计划中，所述平板2上固设有保护罩20，所述负载板7与所述保护罩20的顶部滚动衔接，保护罩20为底部开口的长方体，负载板7经过保护罩20与平板2衔接。

  71.在另一种技能计划中，所述负载板7为圆形板，所述圆形板的边际设有衔接板21，所述衔接板21的一端与所述圆形板固接，另一端与所述旋转组件10的输出端衔接，如图所述，旋转组件10经过推进衔接板21旋转，然后带动负载板7旋转。

  72.在另一种技能计划中，所述第二弹性件9为第二压电电机，与榜首弹性件8的榜首压电电机15相同。

  75.圆球22，其固设于所述第三压电电机的输出端上，所述圆球22远离所述第三压电电机的一侧与所述衔接板21抵接；

  76.拉簧23，其水平设置，其一端与所述第三压电电机固接，另一端与所述衔接板21固接，所述拉簧23处于拉伸状况。

  77.在上述技能计划中，承载框12与微动板1之间设有转接固定座，转接固定座的底部与承载框12固接，顶部与外框体5固接，转接固定座上设有电机设备架，第三压电电机与电机设备架固接，第三压电电机的输出端坐落衔接板21的下方，衔接板21的下方固接有绷簧拉杆，绷簧拉杆向内洼陷设有凹槽，旋转组件10的圆球22远离第三压电电机的一侧与凹槽

  的内部抵接，拉簧23的一端与电机设备架固接，另一端与绷簧拉杆固接，意图是，当圆球22脱离凹槽时，拉簧23具有将绷簧拉杆拉至凹槽与圆球22触摸的拉力。

  78.在另一种技能计划中，所述其间一个第二弹性件9固设于所述外框体5的顶部，所述另一个第二弹性件9固设于所述中框体4的顶部，选用这种技能计划设置两个第二弹性件9的原因是使两个第二弹性件9互补搅扰，但一起都可以效果于负载板7，使负载板7移动。

  79.这儿阐明的设备数量和处理规划是用来简化本实用新式的阐明的。对本实用新式六自由度微动渠道的使用、修正和普通对本范畴的技能人员来说是清楚明了的。

  80.虽然本实用新式的施行计划已揭露如上，但其并不只是限于阐明书和施行方法中所列运用，它可彻底被适用于各种合适本实用新式的范畴，关于了解本范畴的人员而言，可容易地完结别的的修正，因此在不违背权利要求及同等规模所限制的一般概念下，本实用新式并不限于特定的细节和这儿示出与描绘的图例。

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